3纳米制程

3纳米制程是半导体制造制程的一个水准，此技术必须使用EUV进行生产。甚至是高数值孔径极紫外光。^[1]

历史

国际装置与系统发展路线图（IRDS）在2017年曾预计3纳米制程将在2024年量产^[2]。

2017年9月29日，台积电宣布未来3纳米（nm）制程晶圆厂，落脚台湾台南市的南部科学工业园区，预计最快2022年量产^[3]。台积电于2020年第一季宣布3纳米制程将在2021年试产，并在2022下半年正式量产，其3纳米制程继续采用FinFET（鳍式场效晶体管）^[4]。

2019年5月，三星表示其3纳米产品预计于2021年推出^[5]。此后由于受到2019冠状病毒疾病疫情影响，三星的3纳米制程推出时程被延后到了2022年^[6]。

Intel在2019年泄漏的路线图显示，其3纳米制程预计在2025年推出^[7]。节点改名的Intel 3预计2024年推出。

2022年7月25日，三星宣布推出首款3纳米制程芯片，采用GAA FET（闸极全环场效晶体管）技术^[8]

2023年9月15日，苹果公司发布新一代iPhone 15系列手机，其中iPhone 15 Pro以上系列搭载的A17 Pro处理器由台积电3纳米工艺代工制造，成为全球首款量产的3纳米工艺处理器芯片。

3纳米的继承者为2纳米。

^ High-NA EUV是什麼？新一代極紫外光EUV，為何台積電、英特爾都想要？. www.bnext.com.tw. [2024-09-15] （中文（台湾））.
^ IRDS international roadmap for devices and systems 2017 edition (PDF). （原始内容 (PDF)存档于2018-10-25）.
^ 3 奈米製程，可能是終極技術. [2019-02-09]. （原始内容存档于2019-12-03）.
^ Atkinson. 台積電 3 奈米製程電晶體數約 2.5 億個，2022 下半年量產. 科技新报. TechNews. 2020-04-20 [2020-05-16]. （原始内容存档于2020-10-04）（中文（台湾））.
^ Vanessa. INTEL 10nm還沒量產 SAMSUNG 3nm就要來了. XFastest News. [2019-07-11]. （原始内容存档于2019-07-11）（中文（台湾））.
^ 凌郁涵. 三星3奈米明年量產告吹？疫情衝擊恐再延一年. 钜亨网. 2020-04-07 [2020-05-16]. （原始内容存档于2020-09-27）（中文（台湾））.
^ 處理器 - Intel 新線路圖兩年升級一次製程, 2029年迎來1.4nm. 沧者极限. [2019-12-12]. （原始内容存档于2019-12-12）（中文（台湾））.
^ 搶先台積電三星全球首款3奈米晶片亮相. 自由时报. 2022-07-25 [2022-07-27]. （原始内容存档于2022-07-29）（中文（台湾））.

先前 5纳米制程	半导体器件制造制程	其后 2纳米制程

半导体器件制造

金属氧化物半导体场效晶体管
010 µm – 1971 006 µm – 1974 003 µm – 1977 1.5 µm – 1981 001 µm – 1984 800 nm – 1987 600 nm – 1990 350 nm – 1993 250 nm – 1996 180 nm – 1999 130 nm – 2001 090 nm – 2003 065 nm – 2005 045 nm – 2007 032 nm – 2009 022 nm – 2012 014 nm – 2014 010 nm – 2016 007 nm – 2018 005 nm – 2020 003 nm – 2022
未来 002 nm ~ 2024
晶体管数量互补式金属氧化物半导体半导体器件（多闸极晶体管）摩尔定律晶体管数量半导体半导体产业纳电子学
查论编