风机过滤机组

于微电子生产用无尘室之天花板骨架安装风机过滤机组

风机过滤机组(英文: Fan Filter Unit，简称: FFU)，是一种结合送风机与高效滤网(HEPA/ULPA)气流循环与过滤之无尘室洁净设备，主要是用来过滤来自作业场所空气中所存在有害空气中的粉尘颗粒，提供洁净之空气。FFU的无尘室大致可分层流型(laminar)与紊流型(turbulent)无尘室两大类，层流型都在Class 1000以下，而紊流型无尘室则是在Class 1000以上；主要安装于无尘室天花板上及机台上方，或网格地板内安装此设备，提供无尘室与机台所需之气流循环与空气滤净；在台湾，使用此设备大致采送风式居多。

设备之使用环境大多为半导体、电子资讯、航太、制药、生物工程、医疗、食品、实验室等高产业领域,而这些领域之生产环境皆具备严苛的高要求。FFU之经常使用由于在空间中有一定高度限制，设置较小的内部地板尺寸的唯一系统。此外，若涉及小于20的过滤器时，则风扇供电HEPA，FFU之设计往往被认为是可比传统的管道式供给系统来得更便宜。