微技術
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微技術(英語:Micro-technology)包含了微機電感測和控制、驅動元件製程開發技術、微機電系統整合技術、射頻(RF MEMS)、光學(Optical MEMS)、生物醫學(Bio MEMS)、電腦與週邊(Computer Peripheral MEMS)微機電系統研究[1][2]。
參考
- ^ 王伯雄等編著. 微纳米测量技术. 北京:清華大學出版社 ,. 2006.08: 2–3. ISBN 7-302-13063-9. 請檢查
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中的日期值 (幫助) - ^ 楊繼全,朱玉芳編著. 先进制造技术. 北京:化學工業出版社 ,. 2004.09: 237. ISBN 7-5025-5961-2. 請檢查
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中的日期值 (幫助)
基本結構 | |||||||||
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應用 |
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製程 |
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物質材料製程的層次 | |
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巨規模工程(英語:Megascale engineering) | |
重大工程 | |
微技術 | |
納米技術 | |
皮米技術(英語:Picotechnology) | |
飛米技術(英語:Femtotechnology) | |
領域 |
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組件 | |||||||||||||||||||||||||||
技術史 | |||||||||||||||||||||||||||
資訊科技教育 | |||||||||||||||||||||||||||
理論(英語:Theories of technology) 和概念 | |||||||||||||||||||||||||||
其他 | |||||||||||||||||||||||||||
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