靜電透鏡(electrostatic lens)是一種引導帶電粒子的裝置,靜電透鏡可以類似光學透鏡使帶電粒子聚焦。用在引導電子稱電子透鏡(electron lens),而用在引導離子則稱離子透鏡(ion lens)。
種類
底下列出幾種靜電透鏡:
- Einzel lens
- cylinder lenses
- aperture lens
- quadrupole lenses
應用
電子透鏡可用在聚焦電子束源、電子顯微鏡、電子能譜學(例如,X射線光電子能譜學、俄歇電子能譜學)與電子束曝光等;離子透鏡可應用在聚焦離子束源、用在質譜與等離子的操作。