前道工序
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前道工序(front-end-of-line,FEOL)是IC製造的第一部分,其中各個元件(電晶體、電容器、電阻器等)在半導體中進行圖案化。[1] FEOL通常涵蓋(但不包括)金屬互連層沉積之前的所有內容。[2][3]
對於CMOS製程,FEOL包含形成隔離CMOS元件所需的所有製造步驟: [4]
- 選擇要使用的晶圓類型;晶圓的化學機械平坦化和清潔。
- 淺溝槽隔離(STI)(或早期製程中的矽局部氧化 ,特徵尺寸>0.25 μm)
- 井區形成(Well formation)
- 閘極模塊形成
- 源極和汲極模塊形成
相關
參考
- ^ Karen A. Reinhardt and Werner Kern. Handbook of Silicon Wafer Cleaning Technology 2nd. William Andrew. 2008: 202. ISBN 978-0-8155-1554-8.
- ^ FEOL (Front End of Line: substrate process, the first half of wafer processing) 1. Isolation | USJC:United Semiconductor Japan Co., Ltd.. USJC:United Semiconductor Japan Co., Ltd. | 三重県桑名市の300mm半導體ウェーハ工場を製造拠點にしたファウンドリ専業メーカーです。超低消費電力、不揮発メモリなど先進テクノロジーを世界中のお客様に提供しています。. 2019-02-22 [2022-09-27]. (原始內容存檔於2023-09-26) (日語).
- ^ CMOS. 1: Circuit design, layout, and simulation / R. Jacob Baker. 3. ed. Piscataway, NJ: IEEE Press. 2010. ISBN 978-0-470-88132-3. 缺少或
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為空 (幫助) - ^ Ramsundar, Bharath. A Deep Dive into Chip Manufacturing: Front End of Line (FEOL) Basics. deepforest.substack.com. [2022-09-27]. (原始內容存檔於2022-10-16) (英語).