跳转到内容

电子背散射衍射

本页使用了标题或全文手工转换
维基百科,自由的百科全书
单晶硅的EBSD图案。

电子背散射衍射技术 (Electron Backscatter Diffraction, EBSD)是一种利用衍射电子束来鉴别样品结晶学方位的技术。挂载在扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscopy, SEM)中,倾斜角度约70度,加速后的电子束射入样品中,产生反弹的背向散射电子,经过表面晶体结构衍射,携带着样品表面的晶粒方位的信息,进入探测器中,借此判断其每一颗晶粒的方向性。在知道每一颗晶粒的方位后,因此可用在判断晶界(Grain boundary)、相鉴别(Phase identification)、晶粒取向(Orientation)、织构(Texture)及应变(Strain)的分析方法。