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射频电源

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射频电源是可以产生固定频率正弦波電壓,频率在射頻範圍(約3KHz~300GHz)內、具有一定功率电源[1]

射频电源已广泛应用于半导体工艺设备;LED太阳能光伏产业;科学实验中的等离子体发生;射频感应加热;医疗美容;常压等离子体消毒清洗等。[2]

参考文献

  1. ^ 中科院射频电源组. [2013-01-26]. (原始内容存档于2013-08-13). 
  2. ^ 中科院射频电源组研发部. [2013-01-26]. (原始内容存档于2018-08-26).